ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
美国联邦标准(USA Federal Standard)209E(1992年)
洁净度级别 |
粒 径 (um) |
||||
|
0.1 |
0.2 |
0.3 |
0.5 |
5.0 |
1 |
35.0 |
7.50 |
3.00 |
1.00 |
NA |
10 |
350 |
75.0 |
30.0 |
10.0 |
NA |
100 |
NA |
750 |
300 |
100 |
NA |
1000 |
NA |
NA |
NA |
1000 |
7.0 |
10000 |
NA |
NA |
NA |
10000 |
70.3 |
100000 |
NA |
NA |
NA |
100000 |
700 |