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洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级

来自:      时间:2014-05-16 0:01:55
空气洁净度等级(N) 大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3)
  0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um
1 10 2

 

 

 

 

2 100 24 10 4

 

 

3 1000 237 102 35 8

 

4 10000 2370 1020 352 83

 

5 100000 23700 10200 3520 832 29
6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
7

 

 

 

352000 83200 2930
8

 

 

 

3520000 832000 29300
9

 

 

 

35200000 8320000 293000